Randament Sistemul de Inginerie, DA-5 este un vid Coaceţi Vapor Sistemul de prim. Sistemul este proiectat pentru a crea suprafata ideal pentru aderenţă fotorezist.

1. Controlul cu microprocesor de ieşire, cu monitorizare de intrare
2. Multi-capacităţi de programare
3. Ciclu complet / abandona lumină şi sonalert
4. 316 de lustruire electrică cameră de oţel inoxidabil
5. Internă a camerei de suduri
6. Două switch-uri independente de siguranţă supratemperatură
7. Preîncălzit de azot
8. Filtru de azot, 0,5 microni
9. Top-sudate, din oţel inoxidabil intern raft
10. Program de blocare-out
11. Side-montat HMDS balon