Sistemul de Rie cu următoarele caracteristici:

• Fullly sistem automat de Rie cu computer de control, CRT şi tastatură  
• SST Camera  
• 12 "răcit apa Electrod  
• Balzers Turbo Pompa  
• Leybold mecanică Pompa  
• AE RFX 600 de alimentare cu reţeaua Auto de potrivire  
• Endpoint laser de detectare a
• Bay Voltex apei Chiller