Технические Синопсис

Система измерения фильм

Диапазон толщин

* 100-500,000 ангстрем

Размер пятна

* 50ym с 5-кратным цели
* 25ym с 10X Цель
* 6.5ym с 40х цели

Воспроизводимость

* 5A + или - 5%
* Зависит от типа пленки
* Время измерения 2,5 сек (типичная)

Типы пленок

* Нитрида кремния на
* Поликремния на оксид
* На оксид нитрида
* Оксида на кремнии
* Отрицательное поддавайтесь на кремнии
* Отрицательное поддавайтесь на оксид
* (Толстая Films) 115V 50/60 Гц