RIE системы со следующими характеристиками:

• Fullly автоматизированной RIE системы с компьютерным управлением, CRT и клавиатуры  
• SST палаты  
• 12 "с водяным охлаждением электродов  
• Balzers Turbo насоса  
• Leybold механический насос  
• AE 600 RFX питания с автоматическим соответствующие сети  
• Обнаружение лазерного Endpoint
• Bay Voltex воды Chiller