Технические Синопсис

В марте CS-1701 реактивного ионного травления (РИТ) система обеспечивает высокую травления металла цели силицидов травление и травление III-V соединений, анизотропной травления oxcides, нитраты и полиимидов.

Реактор модуль

Модуль обработки газа

ВЧ генератор

10 "Д х 1,5" H (25,4 х 3,8 см), жесткий анодированный алюминий

Провел 4 "или 6" пластин, 8 "возможность дополнительно

0-600 Вт

Автоматическая настройка

Автоматическая оптического детектирования конечной точки