Идеально подходит для исследований и спектрометрии исследования.

Параллельно пластинчатого типа РИТ - 11 "Верхний электрод и 9" нижний электрод

Multi-пластины размером разработать до 8 "пластин

Графитовые пластины функция

Регулируемая высота верхнего электрода

Seiko Seiki турбонасос (STP-H300C) ж / Seiko Seiki STP контроллер

9 MFC (все MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S ж / АМ5 соответствия сети

290 Ион калибровочных контроллера

MKS 286 контроллер

Отключите окно

Plasmatherm ОС для ПК

208V, 60amp, 60 Гц 3 фазы