Technická filmu

Film Systém merania

Hrúbky

* V 100-500,000 angström

Veľkosť spotu

* V 50ym s 5x cieľ
* V 25ym s 10x cieľ
* V 6.5ym s 40x cieľ

Reprodukovateľnosť

* 5A + alebo - 5%
* Závisí od typu filmu
* Doba merania 2,5 s (typicky)

Typov filmu

* Nitrid na kremíka
* Polysilikonov na Oxide
* Nitrid na Oxide
* Oxid na kremíka
* Negatívne Resist na kremíka
* Negatívne Resist na Oxide
* (Hrubých vrstiev) 115 50/60 Hz