Technická filmu

Duálny zásobník, jeden nosič, 150 mm, predná nakladacia spin rinser a sušička.

Wafer veľkosti: do 6 "
Maska veľkosti: až 5 "x 5"
Mikroprocesorový regulátor
Doba cyklu 0-9999 sec.
Otáčky 0-3200
120V 50/60 Hz 15A