Rie systém s nasledujúcimi funkciami:

• Fullly automatizovaný systém s Rie ovládanie počítača, CRT a klávesnice  
• SST komora  
• 12 "vodou chladený elektróda  
• Balzers Turbo čerpadla  
• Leybold mechanické čerpadlo  
• AE RFX 600 Napájací zdroj s automatickým zodpovedajúce siete  
• Laserová detekcia koncového bodu
• Bay VOLTEX vodné chladiace