Ideálne pre výskum a spektrometria štúdií.

Paralelný dosky typ Rie - 11 "horná elektróda a 9" dolná elektróda

Multi-doska veľkosti navrhnúť až na 8 plátkov "

Grafit funkcie doska

Nastaviteľná výška hornej elektróda

Seiko SEIKI turbo čerpadla (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP regulátor

9 MFC (všetky MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S w / AM5 zodpovedajúce sieť

290 Ion Gauge regulátor

MKS 286 Controller

Odpojiť pole

Plasmatherm Operačný systém PC

208V, 60 ampér, 60 Hz, 3 fázy