Technická filmu

Výška 34 "
Šírka 24 "
Hĺbka 36 "
Hmotnosť cca: 400 LBS
Čerpadlo D 30
Wafer Kapacita: 100-125mn 220 VAC

Elektróda CAGE
Výška 8,26 "
Šírka 16,37 "
Hĺbka 12,38 "

Reakčnej komory
Výška 10 "
Šírka 18 "
Hĺbka 12,75 "