RIE sistem z naslednjimi značilnostmi:

• Fullly avtomatiziran sistem z računalniškim RIE nadzora, CRT in tipkovnice  
• SST zbornica  
• 12 "vodno hlajenje elektrod  
• Balzers Turbo črpalka  
• Leybold mehanska črpalka  
• AE RFX 600 napajanje s samodejnim ujemanje omrežja  
• Laser Endpoint zaznavanje
• Bay Voltex vode hladilnikom