Tehnična Sinopsis

Marec CS-1701 Reaktivni Ion Etch (RIE) sistem zagotavlja visoko jedkanje končni kovine, silicida jedkanje in jedkanje iz III-V spojin, anizotropne jedkanje od oxcides nitrati in poliamidi.

Reaktor modul

Plin Ravnanje modul

RF Generator

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) trdo anodiziranega aluminija

Ima na 4 "ali 6" rezin, 8 "zmogljivosti neobvezno

0-600 W

Samodejno uglaševanje

Samodejno zaznavanje optični končna točka