Idealen za študij, raziskovalno in spektrometrija.

Vzporedno plošča tip RIE - 11 "Zgornja elektroda in 9" spodnji elektrode

Multi-rezin velikosti oblikovati do 8 "rezin

Grafit lastnost plošča

Nastavljiva zgornja elektroda višina

Seiko Seiki turbo črpalka (STP-H300C) m / Seiko Seiki STP krmilnik

9 MFC (vse MKS 1159)

Napredno Energija RFPP 5S m / AM5 ujemanje omrežje

290 Ion Gauge krmilnik

MKS 286 Controller

Odklopite polje

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3 faze