Yield Sistemit Inxhinierike, PO-5 eshte nje vakum Piqem avullit Sistemi Kryeministri. Sistemi është i projektuar për të krijuar sipërfaqe ideale për aderimin photoresist.

1. Kontrolli mikroprocesor i prodhimit me monitorimit të dhëna
2. Multi-programimit aftësitë
3. Cikli i plotë / të lehta dhe të ndërpresin shtatzëninë sonalert
4. Electropolished 316 çelik dhoma
5. Brendshme dhomë saldimet
6. Dy çelsin e pavarura të sigurisë overtemperature
7. Azotit preheated
8. Azotit filtër, 0.5 mikron
9. Top-ngjitur, brendshme raft çelik
10. Programi lock-out
11. Side-montuar HMDS termus