Техничка Синопсис

Систем мерења филм

Дебљина Опсег

100-500,000 ангстромс РСД *

Спот величина

РСД * 50им са 5к циља
РСД * 25им са 10к циља
РСД * 6.5им са 40к циља

Репродуктивност

* 5А + или - 5%
* Зависи од типа филма
* Мерење Време 2,5 сек (типично)

ФИЛМ ТИПОВИ

* Нитрид на Силиконска
* Полисиликонски на оксид
* Нитрид на оксид
* Оксид силицијума на
* Негативна Ресист на Силиконска
* Негативна Ресист на оксид
* (Дебели Филмови) 115В 50/60 Хз