Teknisk Sammanfattning

Film mätsystem

Tjocklek Range

* 100-500,000 ångström

Punktstorlek

* 50ym med 5 x objektiv
* 25ym med 10x mål
* 6.5ym med 40X mål

Reproducerbarhet

* 5A + eller - 5%
* Beroende av filmtyp
* Mätning Tid 2,5 sek (typiskt)

Filmtyper

* Nitride på Silicon
* Polykisel på oxid
* Nitride på oxid
* Oxid på Silicon
* Negativ motstå på Silicon
* Negativ motstå på oxid
* (Tjocka Films) 115V 50/60 Hz