Utbyte Engineering System, ja-5 är en Vacuum Grädda Vapor Prime System. Systemet är utformat för att skapa den perfekta ytan för fotoresist vidhäftning.

1. Mikroprocessor styras med ingång för övervakning
2. Multi-programmering kapacitet
3. Cykel komplett / avbryta ljus och Sonalert
4. Elektropolerad 316 kammare av rostfritt stål
5. Inre kammare svetsar
6. Två oberoende övertemperatur säkerhetsbrytare
7. Förvärmd kväve
8. Kväve filter, 0,5 micron
9. Top-svetsad, intern rostfritt stål hylla
10. Program lock-out
11. Sidmonterad HMDS kolv