Perfekt för forskning och Spectrometry studier.

Parallellt plattyp RIE - 11 "Övre elektrod och 9" lägre elektrod

Multi-wafer storlek, upp till 8 "wafers

Grafit funktionen plattan

Justerbar övre elektroden höjden

Seiko Seiki turbo pump (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP controller

9 MFC (alla MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S vikt / AM5 anpassningsnätet

290 jon Gauge styrenheten

MKS 286 Controller

Koppla lådan

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3-fas