เหมาะสำหรับการวิจัยและการศึกษา Spectrometry

แผ่นประเภทของ Parallel rie - 11 "อิเลคโทร Upper & 9" ขั้วไฟฟ้าที่ลดลง

ขนาดมีหลายแผ่นเวเฟอร์ออกแบบได้ถึง 8 เวเฟอร์ "

แผ่นกราไฟท์คุณสมบัติ

ความสูงของขั้วไฟฟ้าที่ปรับเปลี่ยนได้บน

Seiko Seiki เทอร์โบปั๊ม (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP ควบคุม

9 MFC (ทั้งหมด MKS 1159)

ขั้นสูงพลังงาน RFPP 5S w / เครือข่ายการจับคู่ AM5

290 วัดควบคุม Ion

MKS 286 ควบคุม

ถอดกล่อง

OS Plasmatherm พีซี

208V, 60amp, 60Hz 3 เฟส