สรุปทางเทคนิค

แถบแสงจากเวเฟอร์ผ่านกระบวนการพลาสม่า

ปั๊มเครื่องกล CFM (จำเป็น)
13.56 MHz RF Generator 200 วัตต์
สองก๊าซ
120V, 50/60Hz, 15 แอมป์
คู่มือการใช้งาน