Teknikal Buod

Ang Marso CS-1701 reaktibo Ion mag-ukit (Rie) na sistema ay naghahatid ng mataas na dulo metal ukit, silicide ukit at nakauukit ng III-V compounds, sa anisotropic nakauukit ng oxcides, nitrates at polyimides na.

Reaktor Module

Gas handling Module

RF Generator

10 "D x 1.5" H (25.4 x 3.8 cm) na hard anodized aluminyo

Pagpipigil sa 4 "o 6" apa, 8 "kakayahan opsyonal

0-600 Watts

Awtomatikong tuning

Awtomatikong optical endpoint detection