Mühendislik Sistem Verim; VAR-5 Vakum Fırında Buhar Başbakan Sistemidir. Sistem fotorezist yapışması için ideal bir yüzey oluşturmak için tasarlanmıştır.

1. Giriş izleme ile çıktı Mikroişlemci kontrolü
2. Çoklu programlama yetenekleri
3. Çevrim komple / iptal ışık ve sonalert
4. Elektro-316 paslanmaz çelik haznesi
5. İç odası kaynak
6. İki bağımsız aşırı sıcaklık emniyet şalterleri
7. Önceden ısıtılmış azot
8. Azot filtresi, 0.5 mikron
9. Top kaynaklı, paslanmaz çelik raf
10. Program lokavt
11. Yan monte HMDS şişeyi