Aşağıdaki özelliklere sahip RIE Sistemi:

• Bilgisayar kontrolü, CRT ve Klavye ile Fullly otomatik RIE sistemi  
• SST Odası  
• 12 "Su Soğutmalı Elektrot  
• Balzers Turbo Pompa  
• Leybold Makine Pompa  
• Otomatik eşleme ağı ile AE RFX 600 Güç Kaynağı  
• Lazer Nokta Tespiti
• Bay Voltex Su Soğutma