Araştırma ve Spektrometresi çalışmaları için mükemmeldir.

Paralel plakalı RIE - 11 "Üst elektrot ve 9" Alt elektrot

Multi-gofret boyutu 8 "gofret kadar tasarım

Grafit özelliği plaka

Ayarlanabilir üst elektrot yüksekliği

Seiko Seiki turbo pompası (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP denetleyici

9 MFC (tüm MKS 1159)

Gelişmiş Enerji RFPP 5S w / AM5 eşleşen ağ

290 Ion Ölçer denetleyici

MKS 286 Denetleyici

Kutusu çıkarın

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3 fazlı