Прибутковість інженерних систем; ДА-5 вакуумної Випікати пара прем'єр-системи. Система призначена для створення ідеальної поверхні фоторезиста адгезії.

1. Мікропроцесорний контролер виробництва за участю моніторингу
2. Multi-можливості програмування
3. Цикл повного / перервати світла і sonalert
4. Електрополіровка нержавіючої сталі 316 камери
5. Внутрішня камера швів
6. Два незалежних перемикачів безпеки від перегріву
7. Підігрітий азоту
8. Азот фільтр 0,5 мкм
9. Топ-зварний, внутрішні полки з нержавіючої сталі
10. Програма блокування
11. Бічні HMDS колбу