RIE системи з наступними характеристиками:

• Fullly автоматизованої RIE системи з комп'ютерним управлінням, CRT та клавіатури  
• SST палати  
• 12 "з водяним охолодженням електродів  
• Balzers Turbo насоса  
• Leybold механічний насос  
• AE 600 RFX харчування з автоматичним відповідні мережі  
• Виявлення лазерного Endpoint
• Bay Voltex води Chiller