Ідеально підходить для досліджень і спектрометрії дослідження.

Паралельно пластинчастого типу РІТ - 11 "Верхній електрод і 9" нижній електрод

Multi-пластини розміром розробити до 8 "пластин

Графітові пластини функція

Регульована висота верхнього електрода

Seiko Seiki турбонасос (STP-H300C) ж / Seiko Seiki STP контролер

9 MFC (все MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S ж / АМ5 відповідності мережі

290 Іон калібрувальних контролера

MKS 286 контролер

Вимкніть вікно

Plasmatherm ОС для ПК

208V, 60amp, 60 Гц 3 фази