Технічні Синопсис

Смуги з фоторезиста пластин в процесі плазми.

CFM механічний насос (опція)
13,56 МГц ВЧ генератор 200 Вт
Два Гази
120В, 50/60Гц, 15 ампер
Керівництво користувача