Kỹ thuật Tóm tắt

Hệ thống Thủ tướng Chính phủ xử lý

Kỹ thuật Hệ thống Năng suất (YES) LP-III là một tri-lò chân không chức năng có thể được sử dụng cho sơn lót chân không hơi nước, sự đảo ngược hình ảnh và silylation. Với người đứng đầu bình HMDS tắt, các đơn vị sẽ hoạt động như là một tiêu chuẩn hơi chân không mồi. HDMS mồi hơi được sử dụng để cải thiện độ bám dính của photoresist để wafer. Với sự nóng HDMS trên, các đơn vị sẽ cung cấp HDMS áp lực cao nóng cho silylation.

* Bộ vi xử lý kiểm soát
* 120 VAC; 11,3; 60Hz, 1300 watt
* N2 làm nóng trước (Process khí)
* Keylock
* Máy hút bơm - quản lý rừng cộng đồng
* Hướng dẫn sử dụng
* Nhiệt độ cao là 200 độ C