Kỹ thuật Tóm tắt

March CS-1701 phản ứng Ion hệ thống (Rie) Etch cung cấp khắc kim loại cao kết thúc, silicide khắc và bản khắc axit của các hợp chất III-V, dị hướng khắc oxcides, nitrat và polyimides.

Lò phản ứng Mô-đun

Xử lý module khí

RF Máy phát điện

10 "D x 1.5" H (25,4 x 3,8 cm) nhôm anodized cứng

Giữ trên wafer 4 "hoặc 6", 8 "khả năng tùy chọn

0-600 watt

Tự động điều chỉnh

Tự động phát hiện thiết bị đầu cuối quang