Hoàn hảo cho các nghiên cứu Nghiên cứu & Spectrometry.

Tấm song song loại Rie - 11 "Thượng điện cực và 9 điện cực thấp

Multi-wafer kích thước thiết kế lên đến 8 "bánh xốp

Graphite tính năng tấm

Điều chỉnh trên điện cực cao

Seiko Seiki tuabin máy bơm (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP điều khiển

9 MFC (tất cả các MKS 1159)

Nâng cao năng lượng RFPP 5S w / mạng lưới kết hợp AM5

290 Ion Máy đo điều khiển

MKS 286 điều khiển

Ngắt kết nối hộp

Plasmatherm PC hệ điều hành

208V, 60amp, 60Hz 3 pha