产量工程系统;有5是真空烘烤汽首相系统。 该系统的设计，以创造理想的表面光致抗蚀剂的附着力。

1. 微处理器控制的输出输入监测
2. 多编程能力
3. 周期完整/中止光线和sonalert的
4. 电解316不锈钢室
5. 内部腔焊缝
6. 两个独立的过热安全开关
7. 预热氮
8. 氮气过滤器，0.5微米
9. 顶端焊接，内部不锈钢货架
10. 程序锁定
11. 侧装HMDS的瓶