完美的研究与光谱的研究。

平行板型刻蚀- 11“上电极及9”下电极

多晶圆尺寸设计8“晶圆

石墨功能板

可调式上电极高度

精工精机涡轮泵（STP-H300C）W /精工精机STP控制器

9 MFC中（所有MKS的1159）

先进能源RFPP 5S / AM5匹配的网络

290离子计控制器

MKS的286控制器

断开框

plasmatherm电脑操作系统

208V，60安培，60HZ 3相