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产品:
表面廓线仪
阿尔法步骤200
轮廓垂直测量范围
自动高达+ / - 160 KA或160um -20到50
决议 - 垂直:+ / - 160 KA 400家A 5A
触笔半径标准12.5um或5.0um
触笔跟踪队 - 1和25毫克之间可调
精密XY工作台的X轴100mm Y轴81毫米Z轴21毫米
最大的样本大小162毫米
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