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产品：表面廓线仪

dektak第IIA

用于精确测量垂直高度从100的功能 - 655000埃可编程线性扫描系统
5埃的垂直分辨率，扫描时间为4 - 65秒
12.5微米半径10手写笔 - 50毫克的跟踪力
阶段可处理多达5“直径晶圆或部分高达3/4”厚
最多1000个数据点
3扫描速度
70X显微镜是标准

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