技術概要

總理處理系統

產量工程系統（YES），LP-Ⅲ是一個三功能的真空爐，真空吸蒸氣，圖像反轉和矽烷可以使用。 隨著HMDS的瓶頭關，單位將作為一個標準的真空蒸氣底漆。 HDMS質譜蒸氣吸是用來改善晶圓光阻附著力。 與HDMS質譜加熱器，該單位將提供更高的壓力矽烷熱HDMS質譜。

*微處理器控制
* 120 VAC; 11.3; 60赫茲，1300瓦
*預熱氮氣（工藝氣體）
*鑰匙
* Vaccuum泵 - CFM
*用戶手冊
*溫度高達200攝氏度