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表面廓線儀
爐
電源供應器
光刻
氣櫃
產品:
表面廓線儀
阿爾法步驟200
輪廓垂直測量範圍
自動高達+ / - 160 KA或160um -20到50
決議 - 垂直:+ / - 160 KA 400家A 5A
觸筆半徑標準12.5um或5.0um
觸筆跟踪隊 - 1和25毫克之間可調
精密XY工作台的X軸100mm Y軸81毫米Z軸21毫米
最大的樣本大小162毫米
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